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HVA 真空闸阀 81000系列
上海伯东美国 HVA 超高真空闸阀 81000 系列, 阀门主体材质铝, 适用于真空度 1X10 - 7 mbar 和烘烤温度不超过 150°C 的高真空应用. HVA 真空闸阀 81000系列专为系统集成设计研发, 广泛应用于半导体, 太阳能, LED / FPD, 涂料, 镀膜和生物制药.
HVA 高真空闸阀 81000系列 产品性能：
1. 真空炉中一体钎焊完成, 确保了阀门的最大完整性, 有效消除了虚漏和缺陷部分, 避免阀体变形
2. 比同等口径的不锈钢阀门氢气脱气率低
3. 适用寿命长: 400,000启闭次数
4. 高性能 PEEK 组件
HVA 真空闸阀 81000系列 技术参数：
阀门材质： | |
阀门主体 | 6061-T6铝 |
轴封 | [DN40-80] 铝; [DN100-500] 304SS |
支架 | 6061-T6/ PEEK |
密封件 | 氟橡胶 |
阀门密封方式： | |
高真空 | 氟橡胶 |
漏率 | <2×10-9 mbar l/s |
差压关闭 | 1 bar |
真空： | |
压力范围 | 高真空1x10-7 mbar |
漏率 | < 2x10-9 mbar l/S |
差压关闭 | 1.6 bar (任意位置) |
开启前最大压力 | ≤ 30 mbar |
烘烤温度（不含电磁阀）： | |
阀门主体 | 120 °c |
驱动方式 | 80 °c |
使用寿命：400,000启闭次数 | |
公称通径：DN100-320 mm | |
美国 HVA 真空阀门-美国最大真空阀门制造商, 美国HVA原装进口真空阀门, 超过50年的高真空和超高真空阀门设计与制造. 主营高真空闸阀, 高真空角阀广泛应用于半导体, 镀膜, 激光, 科研, 工业等领域. 上海伯东是美国HVA 真空阀门在中国地区唯一指定总代理商。
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