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美国 KRI 考夫曼离子源 Gridded KDC 系列

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更新日期2021-01-28 10:56

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商品信息

基本参数

品牌:

未填

所在地:

广东 深圳市

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有效期至:

长期有效
详细说明

  

产品描述

 

上海伯东代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司 KRI 考夫曼离子源 KDC 系列. 属于栅网离子源, 离子束可选聚焦/ 平行/ 散射.

离子束流: >10 mA~650 mA; 离子动能: 100-1200 V; 中和器: 灯丝.

加热灯丝产生电子, 增强设计输出高质量, 稳定的电子流.

离子源采用模块化设计, 方便清洁/ 保养/ 维修/ 安装.

通入气体可选 Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, others.

考夫曼离子源 KDC 系列包含多种不同尺寸的离子源满足各类应用. 可以直接整合在各类真空设备中, 例如实验室小型研发, 镀膜机, load lock, 溅射系统, 卷绕镀膜机和线性镀膜.

美国 KRI 考夫曼离子源 Gridded KDC 系列 产品优势:

 

伯东美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 特性:

1.通过加热灯丝产生电子

2.低电流高能量宽束型离子源

美国 KRI 考夫曼离子源 Gridded KDC 系列 技术参数:

伯东美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 技术参数:

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 离子源型号

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 离子源 KDC 10 

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 离子源 KDC 40 

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 离子源 KDC 75 

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 离子源 KDC 100 

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 离子源 KDC 160 

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Discharge

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DC 热离子

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DC 热离子

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DC 热离子

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DC 热离子

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DC 热离子

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离子束流

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>10 mA

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>100 mA

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>250 mA

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>400 mA

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>650 mA

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离子动能

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100-1200 V

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100-1200 V

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100-1200 V

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100-1200 V

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100-1200 V

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栅极直径

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1 cm Φ

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4 cm Φ

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7.5 cm Φ

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12 cm Φ

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16 cm Φ

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离子束

portant;">

聚焦, 平行, 散射

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流量

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1-5 sccm

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2-10 sccm

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2-15 sccm

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2-20 sccm

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2-30 sccm

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通气

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Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

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典型压力

portant;">

< 0.5m Torr

portant;">

< 0.5m Torr

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< 0.5m Torr

portant;">

< 0.5m Torr

portant;">

< 0.5m Torr

portant;">

长度

portant;">

11.5 cm

portant;">

17.1 cm

portant;">

20.1 cm

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23.5 cm

portant;">

25.2 cm

portant;">

直径

portant;">

4 cm

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9 cm

portant;">

14 cm

portant;">

19.4 cm

portant;">

23.2 cm

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中和器

portant;">

灯丝

美国 KRI 考夫曼离子源 Gridded KDC 系列 应用领域:

KRI 考夫曼离子源 KDC 应用:

1.辅助镀膜(光学镀膜) IBAD

2.溅镀&蒸镀 PC

3.表面改性激活 SM

4.沉积 DD

5.离子溅射沉积和多层结构 IBSD

6.离子蚀刻 IBE

 


 
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